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產品簡介
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◆SV-3100S4輪廓儀(yi) 大幅度提高了驅動速度(X軸:80mm/s Z2軸:20mm/s),近一步降低了總測量時間。
◆SV-3100S4輪廓儀(yi) 為(wei) 了在一定時段內(nei) 維持儀(yi) 器的直線度精度規格,三豐(feng) 公司才用了具有的耐摩擦性及穩定性的高硬度陶瓷導軌。
◆SV-3100S4輪廓儀(yi) 大量的外圍設備支持CNC模式,從(cong) 而可以很容易實現CNC測量。
◆SV-3100S4輪廓儀(yi) 驅動裝置(X軸)和立拄(Z2軸)中集成了高精度光柵尺(Z2軸為(wei) ABS型),從(cong) 而提高了在垂直方向持續自動測量小孔和不易定位工件的重複精度。
◆SV-3100S4輪廓儀(yi) 的X軸精度:±(0.8+0.01L)μm Z1軸精度:±(0.8+|0.5H|/25)μm *(CV-4100S4、H4、W4),針對高精度工件的測量所設計。 L為(wei) 驅動長度 H為(wei) 測量高度
◆CV-4100係列的驅動裝置集成了Laser Hologage檢位器,在Z軸(垂直方向)的窄/寬測量範圍內(nei) ,提供的精度和分辨率。
| X軸 | |
| 測量範圍 | 100mm |
| 分辨率 | 0.05um |
| 檢測方法 | 反射型線性編碼器 |
| 驅動速度 | 80mm/s和手動 |
| 測量速度 | 0.02-5mm/s |
| 移動方向 | 向前/向後 |
| 直線度 | 0.8um/100mm,2um/200mm *當X軸在水平方向上 |
| 指示精度 (20°C時) | ± (1+0.01L)um *L為(wei) 驅動長度(mm) |
| 傾(qing) 斜範圍 | ±45° |
| | |
| Z2軸(立柱) | |
| 垂直行程 | 300mm |
| 分辨率 | 1um |
| 檢測方法 | ABSOLUTE線性編碼器 |
| 驅動速度 | 0-20mm/s和手動 |
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| Z1軸(檢測器) | |
| 測量範圍 | ±25mm |
| 分辨率 | 0.2um |
| 檢測方法 | 線性編碼器 |
| 指示精度 (20°C時) | ± (2+|4H|/100)um *H為(wei) 水平位置上的測量高度(mm) |
| 測針上/下運作 | 弧形運動 |
| 測針方向 | 向上/向下 |
| 測力 | 30mN |
| 跟蹤角度 | 向上:77°、向下:87°(根據表麵粗糙度,使用標準單切麵測針) |
| 測針針尖 | 半徑:25um、硬質合金針尖 |
| 電源 | 100-240VAC±10%,50/60Hz |